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真空泵的參數及分類



抽氣道理的挑選或所用真空泵的挑選受特定參數的限定。這些參數首要是:最高壓強、壓強規模、抽速、排氣壓強。在超高真空規模內,還要加上別的兩個參數:泵的挑選性及剩余氣體的成份。

排氣壓強是泵在這一壓強下能夠停止排氣的壓強。按照這個概念,真空泵可大抵分為三類:

1)往大氣中排氣的泵。這類泵普通稱為粗抽泵或前級泵。把體系中氛圍抽除到某一須要的任務壓強稱為對該體系粗抽。在另外一泵的出口處堅持的一個所需的高壓強稱為前級壓強。機器扭轉泵和放射泵便是典范的粗抽泵或前級泵。

2)只往低于大氣壓的情況中排氣的泵。這類泵須要一個前級泵(申聯)向大氣中排氣。分散泵、羅茨泵及份子泵均屬于這類范例。它們都須要一個前級泵。

3)可束厄局促住體系中的氣體和蒸汽的泵。這類泵不須要出氣口,是按照電離或吸著道理制成的。

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