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增壓泵(羅茨泵)在真空電子束焊機的利用



在真空電子束焊機中,真空體系還常接納羅茨泵作為增壓泵停止差級抽氣。羅茨泵是一種雙轉子容積份子抽氣機,除容積感化外,還利用了份子抽氣機的任務道理。

在高的壓力下,因為氣體的均勻自在途徑比空隙小,排擠的氣體味大批地前往,以是真空泵不能很好地任務,為使這類真空泵可以或許普通任務,普通用旋片式機器泵作為前置真空泵。

以后置泵出口處的壓力降到100Pa擺布時,羅茨泵起頭任務,其最大抽氣速度呈現在1.33Pa時,這時候氣體的均勻自在途徑明顯地跨越了空隙的寬度,大大增添了前往氣體的流阻,并且它的進氣壓力與出口的前置真空壓力成直線干系。

羅茨泵在1.33×10-2~1.33Pa壓力規模內有很高的抽速,可達40000L/S,能敏捷排擠俄然放出的氣體。在這一壓力規模內扭轉式機器泵的抽速已很小了,而油分散泵則方才起頭任務,是以這兩種泵在抽氣速度上的擺脫,可在其問加一級羅茨真空泵來處理,是以又稱它為增壓泵。

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