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無油真空體系的構件布局



最近幾年來,發明用機器真空泵和分散泵抽氣的真空體系,由于它有微足的油蒸汽返流入被抽容器或器件中,使很多電子器件的機能和手藝目標遭到嚴峻影響。比方,電子管的氧化物陰極,因油蒸汽而下降其發射機能和壽命,各類大功率高電壓電子管,因油蒸汽的存在而輕易電擊穿;播送電臺用的耐高壓真空電容,因泊蒸汽的存在而明顯下降其耐壓目標,油蒸汽在很多處所,發生明顯的倒霉影響。是以,用于這些方面的真空體系,請求改用無油真空體系來取代,即倒霉用用真空油密封和用真空油作任務液的抽氣東西(如機器泵、分散泵),而接納靠對氣體份子吸附感化,下降容器內壓強的吸附泵和欽泵來取得所需的真空。
吸附泵是操縱某些固體物資的多孔性外表,在冷狀況下對氣體的激烈吸附感化,而使封鎖體系取得10-2毫米水銀柱的低真空的,它是用作無油體系的前級。

吸附泵所用的吸附物資,普通除可用活性碳外,大多操縱份子篩(天然沸石)來吸附氣體,取得真空。由于,當用液氮冷卻后,每千克的份子篩,能把50-100升的容器從大氣抽成10-2毫米水銀柱的真空,以是,它是一種吸氣泛很大的泵,而它在顛末400℃擺布的烘烤后,其所吸的氣體就又從頭放出(叫做活化或再生),規復再吸氣的才能。今朝常常操縱的5A份子篩(接收容量大,合適排氛圍,但需常常“活化,,其均勻孔徑約為5埃)和13X份子篩(其吸附容且雖比5A份子篩小,但能接收油蒸汽份子)。

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