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超高真空機組的特色及分類



任務在10-5Pa以上的超高真空機組有分散泵、份子泵超高真空機組和無油超高真空機組.該機組有以下特色:

①主泵極限真空度高,在10-7~10-8pa以上;

②能承受200~450℃的高溫烘烤;

③主泵返流氣體的分壓力很低;

④對被抽氣體挑選性強的主泵,要裝備充足大的幫助泵;

⑤請求真空室、管道、閥門等部件的材料出氣率很低,漏氣率很小。

(1)分散泵超高真空機組

以分散泵為主泵的超高真空機組的極限真空度為10-7~10-8Pa。

為削減來自分散泵前級的氣體反分散和反對機器泵油的反分散對極限真空度的影響,可在分散泵前級申聯一臺抽速小的分散泵,以下降緊縮比,減小反分散。如在分散泵進氣口上邊增設鈦升華阱,可進一步下降來自分散泵的氮氣分壓力,能取得10-11Pa的超高真空。

(2)份子泵超高真空機組

以份子泵為主泵的超高真空機組其極限真空度為10-8Pa,特色是啟動快,油的凈化小。

在機組內增添液氮冷阱,能夠增大抽速。機器泵出口處設有水冷阱,能夠避免油蒸氣進入體系。

(3)無油超高真空機組

不必油做任務液和不必無機材料密封的真空機組稱為無油超高真空機組。經常使用的主泵有高溫泵、鈦泵、濺射離子泵等,可取得極限真空度10-7~10-8Pa。與有油真空機組比擬,它有以下長處:

①可取得潔凈真空、無凈化源;

②當無油真空泵啟動后,便可斷絕預抽泵;

③如俄然抽氣遏制,不會凈化體系;

④無油、無聲、無振動,改良了任務情況;

⑤極限真空度高,抽速大,抽氣時候短。


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