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真空冷凍枯燥在醫行奇跡上的利用

夏日中水環式真空泵真空度降落的緣由

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濺射離子泵的范例挑選

二級型濺射離子泵在解除氬、氪和氙等惰性氣體時,常常會呈現氬壓力輪回回升的景象,即真空體系內德壓力俄然脈沖式的回升然

后又降落,壓力變更幅度為10-2Pa數目級。這類景象稱為“氬不不變性”。給出了二級型噴濺離子泵在氛圍壓力為10-3Pa時停止數

百小時或在10-4Pa時停止數千小時排氣后所呈現的氬不不變性。為降服這類景象,呈現了各類改良型的濺射離子泵的幾種改良型結

構:

1)二極型泵布局簡略,磁鐵的磁隙小,只是啟動壓力低。若是不是在高壓力下啟動并且對惰性氣體抽速無特別請求,仍是選用這類

泵好。

2)若是請求啟動壓力高,能夠接納三極型布局,或接納其余幫助方法。三極型布局工藝龐雜,若是是三電位,電源也龐雜。

磁鐵的磁隙也大了。

3)若是為了抽除氬、氦,能夠接納多孔型陰極。但在鉭板上打孔費事。從工藝上斟酌,能夠接納非對稱型陰極。要從材料上斟酌可

以接納二電位三極型。

4)磁控管型和端子板型都是為了進步對氬的抽速。放電強度、濺射才能都進步了,但工藝上堅苦較大。

5)幾種泵對各類氣體抽氣

才能相差較大,可按詳細環境選用。

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