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真空機組的分類及概述



真空機組由各類真空元件組合而成,它是不帶真空室的排氣體系。真空機組均以主泵定名。今朝國產真空機組首要有油分散泵機組、油增壓泵機組和羅茨泵機組。

低真空抽氣機組的主泵經常利用來去式真空泵、油封真空泵、水蒸氣放射泵、水環泵、份子篩吸附泵、油蒸汽放射泵、羅茨泵等。低真空抽氣機組的首要特色是任務壓力高、排氣盆大,但抽速比擬低。多用于真空室的粗抽,和放宇量很大、任務壓力又高的真空保送、真空浸漬、真空過濾、真空枯燥、真空脫氣等裝配中。利用低真空抽氣機組,還須要按照被抽氣體潔凈水平、濕度或其余出格請求,配及須要的除塵器、枯燥越等部件。

中真空油增壓泵機組用以取得1~10-1Pa的任務壓強.其極限真空度為10-2Pa。它由油增壓泵、真空閥門、捕集器、低真空停止閥、放氣閥、管道和電氣節制盤、水壓繼電器等元件構成。

中真空羅茨泵機組的任務真空度為1~103Pa.其極限真空度為10-1Pa。其余元件與油增壓泵機組不異。

高真空抽氣機組任務真空度為10-2~10-3Pa,其極限真空度為10-4Pa。機組的主泵凡是為油分散泵、分散增壓泵、份子泵、鈦泵、低溫冷凝泵等。這些泵不能間接對大氣任務,須要配里預抽泵或前級保持泵。有些分散泵高真空抽氣機組還配有前級貯氣罐,以避免氣壓動搖,改良機組機能。

超高真空抽氣機組任務在10-6~10-8Pa。除請求真空室的材料出氣率很低、漏氣率很小、能承受200-450℃的低溫烘烤外,對機組的請求另有:主泵的極限真空要高,最少在10-7~10-8Pa以上。在超高真空的任務壓力規模內主泵具備必然的抽速。來自立泵的返流氣體的分壓力要充足低;對被抽氣體挑選性強的主泵要裝備充足大的幫助泵;機組主泵進氣口以上的管道、閥門等部件材料的挑選和密封要出格穩重.普通接納出氣率較低的不銹鋼和接納金屬密封圈。

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