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飛魯超高真空材料的選用



材料的放氣率、滲入率和飽和蒸氣壓決議了材料的超高真空機能。

超高真空所須要的材料,除應知足真空材料通俗請求外,還應知足以下請求。

(1)在烘烤溫度下,材料不應當損失其機器機能;殼體材料能蒙受內部大氣壓力。通俗低熔點金屬和軟玻璃知足不了這類請求。

(2)材料在烘烤溫度下蒸氣壓要低。

(3)材料的滲入氣體量不能跨越許可值。

(4)材料加熱時不易變形。

(5)材料外表輕易拋光。

從這些請求動身,適于超高真空中利用的通用材料有:無磁不銹鋼、高純鋁、無氧銅、金和硼硅酸玻璃、高鋁玻璃、氧化鋁陶瓷等。通俗碳鋼因烘烤時會大批滲氫和易銹蝕而不適于做超高真空的布局材料。

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