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鍍膜裝備真空體系的設想



今朝在各類真空鍍膜裝備上所配用的真空體系豈但布局各不不異,并且體系的抽氣特征也隨其任務工具的不同而有很大的不同.歸結起來首要有以下幾種體系:

(1)通用真空體系 體系的主泵是油分散泵,泵上方設有水冷擋板(阱),主泵的前級泵為機器泵。這類體系的任務壓強在10-2~10-4pa的規模內.

(2)超高真空體系 在上述真空體系中加裝液氮冷阱或鈦泵.就能夠使鍍膜室真空度進步到10-6Pa以上.從而取得超高真空體系.因為該體系仍接納油分散泵,以是仍是有油的體系。

無油超高真空鍍膜機裝備無油超高真空機組.CWD-500型裝備的機組是三極式:以冷陰極濺射離子泵(JLP-400型)為主泵,鈦升華泵(ST-0.1型)為幫助泵.并以SP-40型份子篩吸附泵作為體系的粗抽泵。體系還帶有CT-200型內裝式插板閥和全套前級真空管路、烘烤裝配等.為使烘烤時便于排氣或疾速抽氣.機組還能夠用一套機器泵加吸附裝配作為幫助前級泵。機組的極限真空可達6.7×10-8 Pa,在1h內可從大氣壓下抽到1×10-5Pa.

鍍膜機接納份子泵體系能夠取得非常潔凈的真空.有益于膜品質的進步。份子泵抽速很大,能夠延長工藝周期。比方用1200L·s-1的份子泵在直徑500mm的通俗式高真空鍍膜機長進行抽暇,從大氣抽到3×10-4Pa只要要18min,可見,其結果是明顯的.

(3)制冷機高溫泵體系 利用高溫泵抽氣體系的真空鍍膜裝備具備一系列長處:無挑選性氣體、無碳氫化合物凈化、具備較大的抽氣速度、能夠取得較低的極限壓力、操縱簡略、運轉保護便利.

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