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真空泵中真空材料的選材準繩



對真空容器殼體及外部整機材抖的請求

真空泵有充足的機器強度和剛度來保障殼體能蒙受住室暖和烘烤溫度下的大氣壓力,并且在加熱烘烤(出格是對超高真空體系) 時不產生變形。

②氣密性好。要堅持一個無缺的真空情況,器壁材料不應存在多孔布局、裂紋或構成滲漏的其余缺點。有較低的滲入速度和出氣速度。

③在任務溫度和烘烤溫度下的飽和蒸氣壓要充足低(對超高真空體系來講特別主要)。

④化學不變性好。不易氧化和侵蝕,不與真空泵中的任務介質及工藝進程中的放氣產生化學反映。

⑤熱不變性好。在體系的任務溫度(高溫與高溫)規模內,堅持杰出的真空機能和機器機能。

⑥在任務真空度及任務溫度下,真空容器外部器件應堅持杰出的任務機能,知足功課工藝的請求。

⑦有較好的延展性、機器加工機能和焊接機能,輕易加工成龐雜外形的殼體。

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