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真空泵按機能、布局和任務道理的分類

(1)按機能特色和用處分類

①低真空泵:此真空泵的極限壓強高于1.33Pa的真空泵屬于低真空泵。罕見的有來去式真空泵扭轉式真空泵水環式真空泵、放射式真空泵和吸附式真空泵。

②中真空泵:極限壓強在10-2~1.33pa之間的真空泵屬于中真空泵。罕見的有羅茨真空泵、多級放射式真空泵等。

③高真空泵:極限壓強在10-6~10-2pa的真空泵屬于高真空泵。各類分散泵及份子泵等屬于高真空泵。

④超高真空泵:極限壓強低于10-6Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵首要有離子泵、高溫泵等。

(2)按布局特色分類

①機器式容積真空泵:這類泵是靠機器舉措使泵腔任務容積周期變更來完成抽氣感化的。如來去式真空泵、扭轉式機器泵等都屬于此類泵。

②射流式真空泵:這類泵不機器活動部件.首要靠經由過程噴嘴的高速射流來抽真空。屬于這類泵的有水蒸氣放射泵、氛圍放射泵、水放射泵和各類分散泵等。

③其余范例真空泵:這類泵多屬于取得高真空、極高真空或高純正真空泵的泵類,如吸附泵、份子泵、離子泵、冷凝泵等。

(3)按任務道理分類 這是真空泵的根基分類體例,按照任務道理的差別各類真空泵可分為來去式、旋片式、滑閥式、機器增壓式、放射泵、分散泵、份子泵、離子泵、冷凝泵等。

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