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低真空、中真空及高真空機組的分類及利用

初期的真空體系都必須由真空任務者親身設想、組裝.厥后因為行業的成長強大,遂有真空機組的供給。真空機組分為低真空機組、高真空機組、超高真空機組等多種,且品種單一,不勝列舉.現先容一些于下。

一、低真空機組(一)—含油機組

低真空機組的特色是任務壓強高、排宇量大。多用于真空室的粗抽和氣體負載大、任務壓強高的場所,如真空保送、真空浸漬、真空過濾、真空枯燥、真空脫氣等裝盟中。低真空抽氣機組的主泵經常利用來去式機器泵、扭轉油封機器泵、水蒸汽放射泵、份子篩吸附泵、油蒸汽放射泵、羅茨泵等,除后二者不能間接排于大氣外,其余各類泵均能間接排于大氣。利用低真空抽氣機組,還須要按照被抽氣體的干凈水平、濕度或其余特別請求,設置裝備擺設須要的除塵器、枯燥罐等部件,以掩護機組,免致泵腔磨損。

二、低真空機組(二)—干式(無油)機組

最近幾年來用多級爪式泵作為前級泵,和一個羅茨泵串接構成的干式抽氣機組,能將氣體間接抽到大氣中,取得了普遍的利用。首要利用在半導體、冶金、化學等行業.現舉比方下。

1.輕負載機組

首要利用于薄膜工藝、真空工藝及迷信研討中抽除枯燥和非侵蝕性氣體用。機組泵的級數有1+3和1+4(1個羅茨泵、3或4級的爪式泵)兩種,前者極限真空為10~1Pa.后者達1~10-1Pa(均不含惰性氣體時);最高入口壓強900托,入口氣體最高溫度(120000Pa時)40℃,最超出跨越口壓強150000 Pa。抽速在200~400m3/hrs.泵的轉速有2850 r.p.m.及3400 r.P.m.兩種,需水冷,軸承需氮氣吹洗,氮耗量每分鐘0.35L。

2.中等負載機組

首要利用于抽取侵蝕性氣體,為含蒸汽及塵粒的工藝進程供給真空情況等,如化學工藝、半導體工藝,固然,薄膜工藝、真空工藝及迷信研討等也均能勝任。

3.刻薄負載機組

首要利用于抽除會發生副產物而梗阻泵的氣體或蒸汽.和供給發生顆粒的真空工藝進程所需的真空情況,如制TiN、發展晶體、某些CVD進程等。

三、超高真空機組

超高真空機組是任務壓強在超高真空地區(<10-8Torr)能蒙受必然氣體負載的真空機組。

1.份子泵機組

ULVAC公司開辟出一種無需冷水的份子泵機組(MUE-ECO系列).用100L/min(N2)的油封扭轉機器泵作為前置泵;機組抽速達210L/S(對N2).極限真空<10-8Torr,其最高Ar負載為30cm3/min.

該機組的首要特色是:布局松散通用性強;易于操縱和保護,如易換試樣,因其任務室的上部是像鐘罩一樣可取下的(任務室直徑250 mm擺布),而底部用法蘭毗連至份子泵,四周有多個法蘭接供詞接入蒸起源、膜厚監測探甲等之用;任務室(不銹鋼制成)內外表經特別化學拋光.故室壁放氣少、到達極限真空快。

2.高溫冷凝泵機組

這類機組由高溫冷凝泵及制冷機構成,無需另用液氦或液氮。廠方可按照客戶請求供給所需機能的機組,比方:為濺射裝配用的大抽速型;為刻蝕及CVD裝配用的無侵蝕型;為取得更佳真空的可烘烤型;為迷信嘗試用的低振動型;機組高度較矮的L型等。

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