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半導體系體例造業中真空泵的成長趨向

真空泵作為半導體系體例造行業的一種首要的出產裝備,越來越請求寧靜靠得住。當烴油密封的扭轉泵用于光刻去膠等有氧的場所,偶然會產生爆炸。原子化的油霧、熱的油蒸氣、磨擦、緊縮、較高的溫度、外物、能夠的靜電等,一旦與氧連系便能夠風險情況。而這些身分,真空泵里都有。在泵里接納氮等惰性氣體作為氣爆,并用氮來減小油箱里的氧濃度(使氧濃度低于25%),能夠使產生爆炸的風險性減小.這個方式已被半導體系體例造行業接納.而英國薩西克斯郡Edwards公司則推出了“福姆勃林”(Fomblin)惰性光滑流體,它不論用在甚么場所,同氧打仗都是不題目的。

新的真空泵將更能順應集成電路制作工藝中的侵蝕請求,比方可用陶瓷、耐熔金屬和貴金屬制作。

新的泵將堅持此刻的泵的全數長處而不此刻的泵的錯誤謬誤。高溫泵方面,高溫產生器和緊縮機二者的總靠得住性將有進一步進步。粗抽機器泵方面,清沽度將最少進步一個數目級。據日本一家電子公司估量,在此后的幾年里,渦輪泵和高溫泵將替換分散泵,因為它們的潔凈度較高。新型的磁懸浮軸承渦輪份子泵將用于半導體系體例造行業。

泵將會有較多的計較機接口,乃至成為自診斷型。粗抽因為有嚴峻化學侵蝕題目,其有自我監測才能的葉輪泵將替換活塞泵,而活塞泵將成為掉隊的手藝代表。瞻望50年后,很多半導體系體例造乃至能夠帶到外層空間去停止!將來的真空泵將僅僅是工藝處置室前面的一只面向著深遠莫測外層空間的閥門罷了!

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