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機器泵(真空泵)串連分散泵的高真空體系

必定有人會問,作甚機器泵?不論是機器泵仍是分散泵都屬于真空泵,普通機器泵到達的真空泵較低,在10-4乇擺布,而分散泵的真空度較高,在10-8乇擺布,分散泵須要機器泵作為前級泵,以到達更高的真空度,就像水環真空泵羅茨真空泵構成羅茨水環真空機組一樣,只是真空度的差別罷了,普通抽取貯存液氧的氧氣瓶外面夾層的真空須要這類很高的真空機組。

對于真空度的丈量,用熱偶計(或高壓強電離計)測中真空,用電離計測高真空。有一種玻璃高真空體系。其特色是玻璃體系制作便利、外部潔凈,合適于小型科研實臉。為避免機器泵振動的影響,機器泵與雙通活栓之間接納橡皮管毗連。被排容器接在臺面上部,并用烘箱擋住烘烤。雙通活栓的接法,應使機器泵或通分散泵、或通大氣。如許,當體系利用終了時,將活栓通向大氣,避免機器泵返油;同時分散泵得以堅持真空。有些體系須要真空度較高,可在分散泵上加液氮冷阱。抽氣泵用機器泵和金屬分散泵,真空度丈量用熱偶計和電離計。與玻璃體系差別的地方在于:

1)因為真空室較大,如預抽時氣體也要經由過程分散泵再到機器泵,將因旅程長而須要較多時

間,需設置一預抽閥,使真空室可由此閥間接通機器泵。預抽時,開啟此閥將真空室抽氣,到達預抽請求后,將此閥封鎖;

2)分散泵較大,返油較嚴峻,凡是須要加擋板,如請求更高真空,則可加液氮冷阱;

3)有前置真空容器起前級壓強不變感化;

4)接納電磁閥,碰到俄然停電時主動將真空體系封鎖。

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