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真空度的丈量東西分類

真空泵中所用的真空計可分為兩大類:一類是能間接測出體系壓力的絕對真空規,如麥克勞(Mcleod )真空規;另外一類是經絕對真空規標定后操縱的絕對真空規,熱偶真空規與電離真空規是最經常操縱的絕對真空規。凡能從其自身測得的物理量(如液柱高度、任務液、比重等)間接計較出氣體壓力的稱絕對真空計,這類真空計丈量精度較高,首要用作基準量具。絕對真空計首要操縱氣體在高壓力下的某些物理特征(如熱傳導、電離、黏滯性和應變等)與壓力的干系間接丈量,其丈量精度較低,并且丈量成果還與被測氣體品種和成份有關。是以絕對真空計必須用絕對真空計標定和校準前方能用作真空丈量。但它能間接讀出被測壓力,操縱便利,在現實操縱中占絕大大都。真空手藝須要丈量的壓力規模為105~10-11Pa,乃至更小,寬達16個數目級以上,還沒有一種真空計能合用于從粗真空、低真空、高真空、超高真空到極高真空的全規模丈量,因此須要有多種真空計停止組合丈量。最經常操縱的以下:

(1) U形管真空計。U形管真空計用以丈量粗真空和低真空的絕對真空計。在U形的玻璃管中充以任務液(低蒸氣壓的油、汞).管的一端被抽成真空(或間接通大氣),另外一端接被測真空體系。    

(2)緊縮式真空計。緊縮式真空計又稱麥克勞真空規或麥氏真空規,是一種丈量低真空和高真空的絕對真空計。這類真空計普通用硬質玻璃制成,丈量精度較高。

(3)電阻真空計。電阻真空計又稱皮喇尼真空計,是一種丈量低真空的絕對真空計,首要由電阻式規管和丈量線路兩局部構成。

(4)熱陰極電離真空計。熱陰極電離真空計通稱電離真空計,首要用于高真空丈量。它是由圓筒式熱陰極電離規管和丈量線路兩局部構成。

(5)冷陰極電離真空計。冷陰極電離真空計是一種丈量高真空的絕對真空計,它由電離規管和丈量線路兩局部構成。

(6)熱偶真空規(又稱熱偶規)。由加熱絲和熱電偶構成,其頂部與真空體系相連。

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