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準確丈量真空漏率

真空漏率丈量的體例是以示漏物資夜蓋被橙容器的全部可疑區(或被檢容器內充人示漏物資),另外一側抽真空(或是大氣);或是在被檢容器的表里兩側構成壓差(或示漏物資的濃度差),在高壓(或低濃度)側側2示漏物資的漏率
和濃度變更。

(1)加壓前提下容器漏率的測定

在加壓前提下測童容器漏率的體例有:氣泡法、超聲法、氣敏半導體檢漏儀法、氨檢漏法、鹵素檢漏儀法、氮質譜檢漏儀法等。

(2)真空前提下容器漏率的測定

①操縱接人真空容器的真空規、離子泵及殘氣闡發質譜計來測定容器的漏率。

②能夠選用流盆丈量、壓力丈量、鹵素檢漏儀和氮質譜檢漏儀等體例來測全漏率。

(3)密封件的無損檢漏

①盡可能操縱密封件上可用來唆使密封器件外部壓力和示漏物資分壓力的規管和殘氣闡發質譜計等停止檢漏。

②有些本來不是丈量壓力的裝配,如:電子管、顯像管等,若更換饋電體例,將其電極接成電離規的體例,測全出管內離子流的變更,便可知管內壓力的變更率。多量量出產這類器件時,能夠經由過程校準的體例把離子流的變更坦白接換算成漏率。

③若是密封件外部具備可作為示漏的物資時,接納靜態法或靜態法對漏到里面的示漏物資停止檢測,便可測出漏孔來。凡是這類密封件外部的示漏氣體的分壓力要比接納背壓法時的壓力為高。是以,檢漏活絡度高,用度低。

④背壓法檢漏合用于成批出產小型密封件時的檢漏;能夠操縱鹵素檢漏儀,氮質譜檢漏儀,放射性同位素等檢漏體例和儀器。

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