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爪式泵的特色


爪式泵
是為半導體產業成長而研制的,它有以下一些特色:

1)泵腔內無光滑劑,因此無返油景象產生;

2)抽氣原件為非打仗式的可完成高速運轉(3000r/min);

3)與被抽氣體打仗的外表防侵蝕耐磨損;

4)在泵腔內氣流垂直活動,少許的顆粒物和液體等在重力感化下易于解除;

5)該泵型式多樣,功效能夠擴大,泵的主體,帶有齒輪、馬達和氣體污染裝備,附件有進口處防反流的閥門,出口處有截流閥,

電氣監控及報警裝配;

6)齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油光滑,上端蓋內的軸承用PFPE油脂光滑;

7)第二、三、四級均有污染氣體進口,以改良被抽介質順遂經由進程泵腔,無此須要的能夠不必通污染氣體,污染氣體用三個流量計分

別調理,彼此都是自力的,以保障節儉惰性氣體,操縱三個電磁閥可微調其流量;

8)進口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔絕間隔,出口處截流閥能將泵的出口封鎖起來,將泵通以污染氣體,這些閥可主動開關,真空系

統有靠得住的掩護,根絕了向真空室的返流;

9)電氣監控與操縱,首要有電源,遠間隔操縱和開關閥等的節制。

當泵呈現毛病時泵能主動泊車,兩個閥門一齊封閉或截流閥封閉。能源和遙控有一臺變壓器和整流器,以供給所需的電流電壓,以

知足監控進程的須要。能源電源、繼電器用以對馬達的接通與斷開及馬達超負荷的掩護。操縱進程有顯現器,有按鈕節制,可節制

馬達、防返流閥的節制閥和截流閥的節制閥,第二、三、四級的污染氣體的通斷閥,惰性氣體的主閥,污染氣體向軸封處通氣用的

閥門等。毛病的監控報警或泊車,體系寧靜主動節制,也可按鈕節制。啟動時,翻開污染氣體,泵一般運轉3min,污染氣體向各段

涌入,通污染氣體對泵機能有些影響。每當碰到告急環境可按主動泊車鍵,污染氣體持續接通,封閉進口防返流閥,各級泵污染

1min,污染竣事,馬達再泊車,封閉惰性氣體停止閥。

 

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