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滑閥式真空泵的道理

滑閥式真空泵的抽氣道理與旋片泵類似,但二者布局差別。滑閥式真空泵是操縱滑閥機構來轉變吸氣腔容積的,故稱滑閥泵。

滑閥泵亦分單級泵和雙級泵兩種,有立式和臥式兩種布局情勢。單級泵的極限壓力為0.4~1.3Pa;雙級泵的極限壓力為6×10-2 —10-1Pa。普通抽速跨越150L/S的大泵都接納單級情勢。這類泵可零丁操縱,也可作別的泵的前級泵用。

1.任務道理
滑閥泵的布局首要由泵體及在其外部作偏疼動彈的滑閥、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等構成(見圖1)。

 

圖1:滑閥式真空泵布局道理圖

泵體中裝有滑閥環(4),滑閥環內裝有偏疼輪(3),偏疼輪牢固在軸(2)上,軸與泵體中間線相重合。在滑閥環上裝有長方形的滑閥桿(5),它能在半圓形滑閥導軌(7)中高低滑動及擺布擺動,是以泵腔被滑閥環和滑閥桿分開成A、B兩室。泵在運行進程中,因為A、B兩室容積周期性地轉變,使被抽氣體不時進入逐步增大容積的吸氣腔;同時,在排氣腔跟著其容積的減少而負氣體受緊縮,并經由過程排氣閥排擠泵外。

雙級型的滑閥泵,現實上是由兩個單級泵串連起來的。它的高、低真空室在統一泵體上,有的是間接鑄成一個全體,有的是壓入中隔板把泵腔分紅高、低兩室。

滑閥式真空泵布局圖
圖1:滑閥式真空泵的布局圖
1-泵體2-泵軸3-偏疼輪4-滑閥環5-滑閥桿6-排氣閥7-滑閥導軌8-進氣管

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